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本发明公开了一种适用于量子芯片的快速升降温退火装置及其应用，涉及电极材料处理装置领域，包括真空室，所述真空室外依次套接有散热装置、加热套，所述散热装置包括安装套，所述安装套外均布设置有若干散热片，所述散热片远离安装套的一端与所述加热套接触设...
该专利属于广州量子湾科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州量子湾科技有限公司授权不得商用。

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