温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种回收装置，包括用于接收待回收气体的缓冲装置和与该缓冲装置相连的容纳所述气体在常规状态下的容纳装置，其特征在于，在所述缓冲装置设置在加热区，所述容纳装置设置在冷却区，在所述缓冲装置和容纳装置之间设置保持气体进入到所述容纳装置内之前保持气体...
该专利属于北京真空电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京真空电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。