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本实用新型涉及一种硅晶片烘干设备，包括一烘干箱体，所述烘干箱体的侧端固定连接有气缸，且气缸的上端铰接有与烘干箱体上端配合的顶盖；所述一侧的顶盖的中部对称设有卤素灯，且位于卤素灯的侧部的顶盖上还对称设有连通烘干箱体的氮气源进口，且所述氮气源进...
该专利属于江苏晶睿光电科技有限公司;黎弈夆所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶睿光电科技有限公司;黎弈夆授权不得商用。

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