下载一种金属掩膜板的制作方法的技术资料

文档序号:21109620

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本发明涉及半导体制作领域,尤其涉及一种金属掩膜板的制作方法,包括:根据金属掩膜板的半刻图形,在基板表面涂布导电材料;在涂布了所述导电材料的所述基板表面进行电铸,形成第一电铸层;将所述第一电铸层从所述基板上剥离;对所述第一电铸层的第一面进行加...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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