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本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种翘起结构的制备方法，只需要校场一次，通过对不同区域选择不同的曝光深度，蒸镀两次，再将其放入热场中，调节热场的温度，来调控翘起的角度。整个制备过程简单易操作，翘起结构的制备精度高，角度易于调控。...
该专利属于金华伏安光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金华伏安光电科技有限公司授权不得商用。

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