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本实用新型公开扫光机用下盘组件,行星盘的四周周向分布有六个相同的下小盘组件,下盘主轴安装于行星盘的正下方,且在下盘主轴的四周周向分布有四个相同的下盘真空吸管;大转盘轴承盖和轴承一均设置两个,二者分别安装在大转盘法兰座的上下两端;大转盘法兰座...该专利属于广东遂联智能装备制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东遂联智能装备制造有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开扫光机用下盘组件,行星盘的四周周向分布有六个相同的下小盘组件,下盘主轴安装于行星盘的正下方,且在下盘主轴的四周周向分布有四个相同的下盘真空吸管;大转盘轴承盖和轴承一均设置两个,二者分别安装在大转盘法兰座的上下两端;大转盘法兰座...