下载一种大面积、均匀的纳米二聚体阵列的制备方法的技术资料

文档序号:21105611

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本发明公开了一种大面积、均匀的纳米二聚体阵列的制备方法,于衬底上依次旋涂剥离光刻胶层和负性光刻胶层,采用可调紫外全息光刻技术对负性光刻胶层进行图案化曝光、显影和定影后得到六角排布的花瓣形纳米通孔阵列,刻蚀去除通孔下方的剥离光刻胶层,然后以所...
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