下载具有低温度敏感性的SOI SiGe异质结双极晶体管的技术资料

文档序号:21093735

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本发明公开了一种具有低温度敏感性的SOI SiGe异质结双极晶体管。晶体管采用由SiO2绝缘层和Si3N4绝缘层组成的多层绝缘层结构,可以有效减小衬底寄生电容,提高器件频率特性;降低漏电流,使得器件具有更低的功耗;消除闩锁效应以及改善混频信...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。

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