下载阈值电压稳定的电子辐照快恢复SJ-VDMOS制备方法的技术资料

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一种阈值电压稳定的电子辐照快恢复SJ‑VDMOS制备方法,步骤如下:取N+衬底;在N+衬底上生长N型外延层;对这层N型外延层进行电子辐照,形成N型辐照外延层;在N型辐照外延层上继续生长另一层N型外延层,并由所述N型辐照外延层与所述另一层N型...
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