下载光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置的技术资料

文档序号:21091775

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本实用新型公开了一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置,包括:检测平台、设置在所述检测平台上的气浮转台、设置于所述气浮转台上的四维调整架、波像差测量模块、OCT测量模块及镜面偏心测量模块。本实用新型实现了偏心、间距与波像差三个测量模...
该专利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州生物医学工程技术研究所授权不得商用。

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