下载一种原子力显微镜模拟实验装置及模拟方法的技术资料

文档序号:21087430

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本发明涉及一种原子力显微镜模拟实验装置及模拟方法,包括底座、探针、样品台、激光器以及调节机构;激光器、偏转棱镜、位置敏感探测器依次设置在同一平面上;调节机构包括Z向调节机构,探针经探针座及探针安装支架设置在Z向调节机构上,探针包括悬臂和反射...
该专利属于浙江理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江理工大学授权不得商用。

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