下载一种高通量可叠加式管式炉的技术资料

文档序号:21086700

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本发明公开了一种高通量可叠加式管式炉,包括加热炉单元模块、控制柜和底座,所述加热炉单元模块外形结构呈短圆柱状,所述加热炉单元模块为四个,沿径向方向上叠加安装,所述加热炉单元模块和所述控制柜固定设置于所述底座上,所述加热炉单元模块由石英管、支...
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