下载一种光栅的二维线密度测量方法及系统的技术资料

文档序号:21086504

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本发明公开了一种光栅的二维线密度测量方法及系统,所述系统中,缩束准直器、一维π位相片、偏振分束镜、1/4波片、两块平面反射镜和电动二维平移台依次设置在激光发射器发射的激光的光路上;双平面反射镜设置在电动旋转台上;待测光栅放置在电动二维平移台...
该专利属于中国工程物理研究院流体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院流体物理研究所授权不得商用。

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