下载检测导管组件气密性的方法的技术资料

文档序号:21086432

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本发明公开的一种微型检测导管组件气密性的方法,旨在提供一种操作方便、简单可靠的气密性检查装置。本发明通过下述技术方案予以实现:氦质谱检漏仪工作腔连通法兰盘导孔,盖帽倒扣在所述导气橡胶垫上,并且盖帽上制有装配被检工件的沉孔、上端有顶封橡胶垫片...
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