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本发明公开了一种退镀液、其制备方法和应用。本发明的退镀液,其包括下列质量分数的组分:5%‑10%的氧化剂、1%‑5%的缓蚀剂、1%‑2%的光亮剂、1%‑5%的促溶剂、10%‑15%的加速剂、1%‑5%的活化剂、和水;氧化剂为硝酸;缓蚀剂为苯...该专利属于上海新阳半导体材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新阳半导体材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种退镀液、其制备方法和应用。本发明的退镀液,其包括下列质量分数的组分:5%‑10%的氧化剂、1%‑5%的缓蚀剂、1%‑2%的光亮剂、1%‑5%的促溶剂、10%‑15%的加速剂、1%‑5%的活化剂、和水;氧化剂为硝酸;缓蚀剂为苯...