下载基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法的技术资料

文档序号:21078286

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本发明公开了一种基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法。双面抛光铌酸锂晶片布置在光学支架的透光孔上,至少一对叉指换能器正交排布在晶片四周,PDMS氮气保护壳置于换能器上方,透光孔正下方依次设有汇聚透镜和数字式微棱镜芯片,紫外光源和...
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