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本发明公开了一种电场牵引的硬脆材料超快激光热裂加工装置及方法，属于硬脆材料激光加工领域。该装置及方法在超快激光热裂加工的基础上增加纵向电场，扩展热裂加工深度，通过设置合理的超快激光热裂加工工艺参数、正确设置电极正负极、控制激光头和电极同步运...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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