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垂直腔面发射激光器外延结构及其制备方法技术
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文档序号:21064415
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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器外延结构及其制备方法,其中,N型DBR层由Al组分含量不同的AlYGa1‑YAs组成,不同AlYGa1‑YAs层间的势垒结减小,并利用相邻AlYGa1‑YAs层之间的应力变化拉伸势垒高度,使得N型DBR层的...
该专利属于扬州乾照光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州乾照光电有限公司授权不得商用。
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