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本发明涉及应变被减小的半导体结构。一种晶体管模块包含：衬底；晶体管，其位于所述衬底上；电介质层，其安置于所述晶体管及所述衬底上方；金属层，其安置于所述电介质层及所述晶体管上方，所述金属层接触所述晶体管的一部分；金属柱，其安置于所述金属层上方...
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