下载基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法的技术资料

文档序号:21057736

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本公开涉及一种基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法,所述基板玻璃热收缩的检测装置包括用于调整基板玻璃位置的微调机构,用于观测所述基板玻璃热收缩变化的显微镜和与所述显微镜连接的计算机,所述微调机构包括设置在所述显微镜的载物台上的滑轨,...
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