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抗蚀剂的品质管理方法及得到抗蚀剂的品质预测模型的方法技术
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文档序号:21057728
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本发明的目的在于提供一种用于抗蚀剂的品质管理及探明不良产生时的早期原因的简便的经机械化的解析方法。本发明提供一种抗蚀剂的品质管理方法,其特征在于,包括:(1)对抗蚀剂进行前处理,得到分析样本的工序;(2)将所述分析样本供于机器分析,得到分析...
该专利属于信越化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。
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