温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了一种量测设备及其检测模块和检测方法。表面检测模块包括：工件台，用于放置待测量的工件；光源，用于提供入射光；光探测器，光探测器布置成能够接收来自工件台上放置的工件反射和散射的光线；以及反射转鼓，反射转鼓上设有多片反射镜片并布置成能...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。