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本发明提供了一种温度检测装置及其制造方法和激光表面退火设备。所述温度检测装置用于检测工件的温度信息，包括：基台，用于承载所述工件；至少一个测温模块，设置在所述基台上，位于所述基台和所述工件之间，用于将所述工件的温度信息转换成数据信号；至少一...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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