下载一种新型金刚石衬底结构、切割工艺及其用途的技术资料

文档序号:21053117

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本发明公开了一种新型金刚石衬底结构,包括单晶金刚石衬底块,单晶金刚石衬底块的生长面上开设有燕尾槽,燕尾槽为长条形槽,其由生长面的一端延伸至其相对的另一端,并贯穿所述生长面;燕尾槽的纵截面为梯形,且梯形的上底位于生长面上;具有这种结构的金刚石...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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