下载一种六方氮化硼材料及其制备方法和转移方法的技术资料

文档序号:21052992

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本发明公开了一种六方氮化硼材料及其制备方法和转移方法。所述制备方法包括:将金属衬底卷曲于管子内,置于化学气相沉积装置中,并通入载气,对反应前驱体进行化学气相沉积,在所述金属衬底表面得到所述六方氮化硼材料。所述转移方法包括:将第一膜材料溶液涂...
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