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电感式传感器设备制造技术
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文档序号:21040829
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本发明涉及电感式传感器设备(23),其具有可以在测量方向(M)上相对于彼此移动的标尺单元(24)和传感器单元(25)。标尺单元包含标尺元件(26),该标尺元件被适配成产生在测量方向(M)上的场图案(P(x)),其借助于传感器单元(25)的接...
该专利属于萨根迪有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过萨根迪有限公司授权不得商用。
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