下载场效应管和半导体器件的技术资料

文档序号:21037799

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本发明提供了一种场效应管和半导体器件,所述场效应管包括:一半导体环柱,其包括中空的环柱形沟道以及位于所述环柱形沟道两端的源极和漏极,且所述源极所在的半导体环柱一端和/或所述漏极所在的半导体环柱一端沿所述半导体环柱的轴线穿通;第一栅极,形成于...
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