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一种晶圆级封装器件及其封装方法技术
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下载一种晶圆级封装器件及其封装方法的技术资料
文档序号:21037713
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本申请公开了一种晶圆级封装器件及其封装方法,所述器件包括:晶圆,包括正面和背面,所述正面设置有焊盘;介质层,覆盖所述晶圆的所述正面,且对应所述焊盘的位置设置有开口;再布线层,包括石墨烯层,所述石墨烯层位于所述介质层远离所述晶圆一侧,且所述石...
该专利属于通富微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通富微电子股份有限公司授权不得商用。
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