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本发明提供一种能产生多种离子的强流离子源装置。该激光微波离子源包括：磁控管1、波导系统2、放电室3、磁体系统4、供气系统、固体靶8和激光发生器5、振镜6、场镜7等。离子源工作时，放电室3打到靶8上，可使放电室3内气体电离产生电子和离子，并可...
该专利属于明建川所有，仅供学习研究参考，未经过明建川授权不得商用。

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