下载一种混合光变装置的制作方法及装置的技术资料

文档序号:21032278

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本发明公开了一种混合光变装置的制作方法及装置,其中,混合光变装置包括器件本体;光学结构,设置于所述器件本体表面,其中,所述光学结构包括至少两个第一光栅结构、与所述第一光栅结构相邻设置的至少两个所述第一条纹结构,还包括保护层,设置于所述光学结...
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