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密封氮化硅过滤器的方法和密封组合物技术
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下载密封氮化硅过滤器的方法和密封组合物的技术资料
文档序号:2103221
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一种用于密封氮化硅过滤器的方法,该过滤器通常具有圆柱状外形,并具有多个相互平行的通孔,孔延伸到相对端面,该方法包括:将含有金属硅粒子的组合物有选择地充填到每个端面上待密封的通孔开口附近,在氮气气氛中对氮化硅过滤器进行热处理,以使组合物中包含...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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