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本发明公开了一种自动探针台运动误差补偿方法，步骤是：1基于多体系统理论，建立自动探针台运动误差模型；2使用多功能激光干涉仪和精密分度台对自动探针台运动误差模型中的误差项进行标定，得到X、Y、Z方向的综合误差补偿值；3将X、Y、Z方向的综合误...
该专利属于北京信息科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京信息科技大学授权不得商用。

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