下载一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器的技术资料

文档序号:21031715

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本实用新型涉及一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器,属于传感器领域。包括一级谐振梁、一级谐振梁支撑结构、底座、回收槽,一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构,另一端沉积有一级压电拾振结构,二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构...
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