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本发明公开了一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置与测量方法。其测量装置包括小F数点光源会聚光源组件和高精密位置调整系统。测试过程中，固定大规模拼接探测器不动，开启大规模拼接探测器并进行信号实时监测，调整光源组件位置，使光源会聚于探测器焦...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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