下载一种旋转靶材合金及其加工方法的技术资料

文档序号:21025515

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本发明属于低辐射玻璃镀膜技术领域,公开了一种旋转靶材合金及其加工方法,旋转靶材合金由背衬管和靶体两部分组成,靶体部分重量组成为:锌34.5~94%,锡5~60%,镍0.5~2%,锑0.3~1.5%,锆0.2~2%,加工步骤为:上述合金制成直...
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