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本发明提供一种用2束激光束进行加工并且针对2束激光束能够分别测量反射光的强度的激光加工装置。分支合流光学系统将沿入射路径入射的激光束根据偏振方向分支为第1加工路径及第2加工路径。分支合流光学系统将分别沿第1加工路径及第2加工路径入射于分支合...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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