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本发明涉及金刚石复合涂层刀具硅片制备方法技术领域，具体为一种纳米金刚石复合涂层刀具硅片制备方法，包括以下步骤：步骤1将刀具放入腐蚀液体中机械能化学处理；步骤2将刀具放入CVD设备反应室内，调节温度；步骤3合成气体，控制气压；步骤4产生形核和...
该专利属于江苏沃德赛模具科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏沃德赛模具科技有限公司授权不得商用。

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