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光声气体传感器和方法技术
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文档序号:21002615
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本公开涉及光声气体传感器和方法。用于测量气体浓度的方法包括利用光脉冲加热第一气体,光脉冲具有由第一气体所吸收的波长,其中第一气体在柔性膜上施加压力。方法包括接收第一信号和接收第二信号,第一信号指示膜的第一偏斜,其中第一偏斜是由于第一气体的压...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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