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本发明涉及一种精密位移传感器及其测量方法，其中位移传感器包括至少两个第一反射镜组，每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二，所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束；所述反射镜一，用于接收激光源射出的激光束，且使激...
该专利属于北方民族大学所有，仅供学习研究参考，未经过北方民族大学授权不得商用。

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