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本发明涉及材料表面真空镀膜技术领域，特别涉及一种空间机构件固体抗菌硬质膜层制品及其制备方法。本发明采用闭合场非平衡反磁控溅射技术在钛合金、铝合金、不锈钢、轴承钢基底上沉积由结合层(Ti)、过渡层(TiN)和功能层(TiAlZrN‑Ag)依次...
该专利属于上海航天设备制造总厂有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海航天设备制造总厂有限公司授权不得商用。

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