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一种静电检测方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:20991072
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本发明实施例公开了一种静电检测方法及装置。其中,该静电检测方法包括:根据非接触式静电传感器与被测物体之间的当前检测距离,确定在当前检测距离下第一信号的量程,其中,第一信号包括静电检测过程中生成的中间信号或静电压检测值;在第一信号大于或等于第...
该专利属于上海安平静电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海安平静电科技有限公司授权不得商用。
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