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一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统技术方案
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文档序号:20990586
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一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统,包括依次在光轴上设置的DBF激光器,光学调制器,第一凸镜,小孔和第二凸镜;还包括两个设置于第二凸镜后端的第一、二矩形棱镜,第一矩形棱镜的后端还依次设置有第一滤波片,第一光腔,第一探...
该专利属于山东非金属材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过山东非金属材料研究所授权不得商用。
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