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本实用新型公开了一种阳极结构及磁控溅射装置，该阳极结构包括：第一阳极，设置于阴极靶与第二阳极之间，用于遮挡向第二阳极溅射的靶材粒子；第二阳极，用于吸收中和由所述阴极靶溅射过来的电子；磁体，用于产生附加磁场以对所述电子的运动形成导向作用，以引...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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