温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的技术目的为提供一种能够保护基板的表面免受粘在蒸镀用喷嘴上的污染物污染的蒸镀装置。为此，用于在基板上蒸镀一种以上的薄膜形成用物质的本发明的蒸镀装置包括：第一线性蒸发源，具有使得用于将第一薄膜形成用物质喷射到上述基板上的多个蒸镀用喷嘴沿...
该专利属于艾尔法普拉斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过艾尔法普拉斯株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。