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本实用新型公开了一种真空密封传动的真空室离子束修形加工装置，包括真空室，还包括离子源运动机构，离子源运动机构包括设置于真空室外的驱动电机以及与驱动电机的驱动轴连接且设置于真空室内的传动组件，传动组件与驱动电机在真空室的内外通过密封传动组件进...
该专利属于长沙埃福思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙埃福思科技有限公司授权不得商用。

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