下载六自由度大行程无耦合大中空串并联压电微动平台的技术资料

文档序号:20977251

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本发明公开了六自由度大行程无耦合大中空串并联压电微动平台,包括底座、动台面、第二平台和第一平台;第一导向单元、第二导向单元、第三导向单元、第四导向单元、第五导向单元和第六导向单元分别顺次连接第二平台和第一平台;第一导向单元内设有第一驱动单元...
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