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本发明涉及碳化硅特种陶瓷的技术领域，本发明涉及碳化硅特种陶瓷的技术领域，尤其是一种ITO板状靶材用高纯度重结晶碳化硅陶瓷的生产方法。在重结晶碳化硅原材料的基础上，添加占原材料总质量比0.1％～5％的硅溶胶；利用石膏模具注浆成型获得所需形状的...
该专利属于唐山富达莱新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过唐山富达莱新材料有限公司授权不得商用。

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