下载多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统的技术资料

文档序号:20975227

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种多晶硅生产过程中的尾气处理方法及系统,该方法包括以下步骤:(1)通过尾气冷却塔对尾气进行冷却液化分离,在尾气冷却塔的塔釜得到尾气冷却塔的塔釜液,初级混合物包括尾气冷却塔的塔釜液;(2)将初级混合物通入到分离塔进料进行精馏提纯...
该专利属于新特能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。