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具有隔离结构的芯片制造技术
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文档序号:20973664
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本发明提供一种具有隔离结构的芯片,其包括晶片所述晶片包括:衬底;形成于所述衬底上的第一电路;形成于所述衬底上的与所述第一电路相邻的第二电路;隔离沟槽,其位于第一电路和第二电路之间的衬底部分,其中,第一电路和第二电路之间的衬底部分称为衬底间隙...
该专利属于合肥中感微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥中感微电子有限公司授权不得商用。
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