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本实用新型涉及一种一埚多模制备难熔稀有金属靶的装置，属于金属靶材的制备技术领域。其包括炉体、送料机构、坩埚、水冷模块、电子枪、真空系统和充气结构，所述炉体分为炉室和电子枪室，所述水冷模块包括水冷模具和设于该水冷模具下方的水冷拉锭机构；真空系...
该专利属于青岛蓝光晶科新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛蓝光晶科新材料有限公司授权不得商用。

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